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扫描电子显微镜成像原理及基本操作
发表日期:2019-06-24 16:24| 来源 :本站原创 | 点击数:
本文摘要:扫描电子显微镜成像道理及根基操作_电子/电路_工程科技_专业材料。扫描电子显微镜成像道理及根基操作 一、 根基布局构成: 1.电子光学系统:电子枪;聚光镜(第一、第二聚光镜和物镜) ;物 镜光阑。 2.扫描系统:扫描信号发生器;扫描放大节制器;扫描偏转

  扫描电子显微镜成像道理及根基操作_电子/电路_工程科技_专业材料。扫描电子显微镜成像道理及根基操作 一、 根基布局构成: 1.电子光学系统:电子枪;聚光镜(第一、第二聚光镜和物镜) ;物 镜光阑。 2.扫描系统:扫描信号发生器;扫描放大节制器;扫描偏转线.信

  扫描电子显微镜成像道理及根基操作 一、 根基布局构成: 1.电子光学系统:电子枪;聚光镜(第一、第二聚光镜和物镜) ;物 镜光阑。 2.扫描系统:扫描信号发生器;扫描放大节制器;扫描偏转线.信号探测放大系统:探测二次电子、背散射电子等电子信号。 4.图象显示和记实系统:SEM 采用电脑系统进行图象显示和记实。 5.真空系统:常用机械真空泵、扩散泵、涡轮分子泵等使线.电源系统:高压发生安装、高压油箱。 二、 扫描电子显微镜成像道理 扫描电镜是用聚焦电子束在试样概况逐点扫描成像。 试样为块状或粉 末颗粒,成像信号能够是二次电子、背散射电子或接收电子。此中二 次电子是最次要 的成像信号。由电子枪发射的能量为 5 ~ 35keV 的电子,以其交叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小构成具 有必然能量、必然束流强度 和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈 驱动下,于试样概况按必然时间、空间顺 序作栅网式扫描。聚焦电 子束与试样彼此感化,发生二次电子发射(以及其它物 理信号) ,二 次电子发射量随试样概况描摹而变化。二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束 同步扫描的 显像管亮度,获得反映试样概况描摹的二次电子像。 三、 扫描电镜具有以下的特点 (1) 制样方式简单,对试样的尺寸、形态等无严酷要求,能够察看直 径为的大块试样以及粉末等。 (2) 场深大,合用于粗拙概况和断口的阐发察看;图像富有立体感、 实在感、易于识别和注释。 (3) 放大倍数变化范畴大,对于多相、多构成的非平均材料便于低倍 下的普查和高倍下的察看阐发。 (4) 具有相当高的分辩率,可达到为 3.5 ~ 6nm。 (5) 能够通过电子学方式无效地节制和改善图像的质量,如通过调制 可改善图像反差的宽大度,使图像各部门亮暗适中。 (6) 可进行多种功能的阐发。与 X 射线谱仪配接,可在察看描摹的 同时进行微区成分阐发。 (7) 可利用,察看在分歧情况前提下(加热、冷却和拉伸等样品台进 步履态试验)的相变及形态变化等。 四、 扫描电镜的用处 通过样品中的电子激发出的各类信号, 扫描电镜能够做出电子图像分 析,如可操纵二次电子进行样品概况描摹及布局阐发的阐发;以两片 探测器信号做积分运算,通过背散射电子能够阐发样品概况成分像, 以两片探测器信号做微分运算时,则可用于样品概况描摹像德阐发; 此外,通过透射电子则可对析晶体的内部布局及晶格消息进行阐发。 并且,其配上其它一些配套设备,还可做显微化学成份阐发,显微晶 体布局阐发,显微阴极发光图像阐发,这愈加扩大的扫描电镜的普遍 应费用。常见的扫描电镜配套设备次要有:x 射线波谱仪、x 射线能 谱仪、结晶学阐发仪、阴极发光图像阐发仪等。

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